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发明名称 HEATING ENHANCEMENT IN PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION
摘要
申请公布号 GB8701414(D0) 申请公布日期 1987.02.25
申请号 GB19870001414 申请日期 1987.01.22
申请人 MATTHEWS, A 发明人
分类号 C23C14/30;C23C14/32 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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