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经营范围
发明名称
PLASMA TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号
JPS6243132(A)
申请公布日期
1987.02.25
申请号
JP19850183612
申请日期
1985.08.20
申请人
SHARP CORP
发明人
KAWABATA RYOHEI;KIMURA DAISUKE;TAKENAKA NOBUYUKI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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