| 发明名称 |
VAPOR-PHASE EXCITING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6242411(A) |
申请公布日期 |
1987.02.24 |
| 申请号 |
JP19850180453 |
申请日期 |
1985.08.19 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
ANDO KENJI;CHIBA YUJI;MASAKI TATSUO;SUGATA MASAO;OSABE KUNIJI;KAMIYA OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/205;B01F5/02;H01J37/32 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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