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发明名称
CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6242428(A)
申请公布日期
1987.02.24
申请号
JP19850181211
申请日期
1985.08.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
ITO MICHIHARU;HIROTA KOJI;YOSHIKAWA MITSUO
分类号
H01L21/208;C30B19/00;H01L21/368
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
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