| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6242436(A) |
申请公布日期 |
1987.02.24 |
| 申请号 |
JP19850181540 |
申请日期 |
1985.08.19 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
YAMAMOTO HIROSHI;NISHIYAMA KAZUO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/26;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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