发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6242529(A) 申请公布日期 1987.02.24
申请号 JP19850181097 申请日期 1985.08.20
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KASE MASA
分类号 H01L21/764;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
主权项
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