| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR TREATING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04109621(A) |
申请公布日期 |
1992.04.10 |
| 申请号 |
JP19900229219 |
申请日期 |
1990.08.29 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MATSUDA TETSURO;MIKATA YUICHI;YONEKURA AKEMICHI |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/30;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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