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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6230116(U) 申请公布日期 1987.02.23
申请号 JP19850121195U 申请日期 1985.08.06
申请人 发明人
分类号 G01D7/00;G01R1/08;G12B11/02;H01L33/60;(IPC1-7):G01D7/00;H01L33/00 主分类号 G01D7/00
代理机构 代理人
主权项
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