发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6240776(A) 申请公布日期 1987.02.21
申请号 JP19850178542 申请日期 1985.08.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TANPO TOSHIHARU;NISHII KATSUNORI;INOUE KAORU
分类号 H01L29/812;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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