发明名称 SEMI-CONTINUOUS TAKE-UP TYPE VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6240373(A) 申请公布日期 1987.02.21
申请号 JP19850181322 申请日期 1985.08.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IWAOKA KAZUO
分类号 C23C14/56;G11B5/85 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
地址