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发明名称
SEMI-CONTINUOUS TAKE-UP TYPE VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6240373(A)
申请公布日期
1987.02.21
申请号
JP19850181322
申请日期
1985.08.19
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
IWAOKA KAZUO
分类号
C23C14/56;G11B5/85
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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