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发明名称 VERFAHREN ZUM KURZZEITTEMPERN EINER HALBLEITERSCHEIBE DURCH BESTRAHLUNG
摘要
申请公布号 DE4109956(A1) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 DE19914109956 申请日期 1991.03.26
申请人 SIEMENS AG, 8000 MUENCHEN, DE 发明人 KAKOSCHKE, RONALD, DR.RER.NAT., 8000 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/26;H01L21/00;H01L21/268 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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