| 发明名称 |
PRODUCTION OF TIN NITRIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6240378(A) |
申请公布日期 |
1987.02.21 |
| 申请号 |
JP19850180362 |
申请日期 |
1985.08.15 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
SHIRAISHI TADASHI;YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/48;C01B21/06;C23C16/34;C23C16/50;C23C16/507 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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