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发明名称 PHOTOVOLTAIC CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPS6240718(A) 申请公布日期 1987.02.21
申请号 JP19850179362 申请日期 1985.08.16
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD 发明人 SHINADA HARUJI;AZUMA AKIO;KAWAJIRI KAZUHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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