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发明名称
摘要
申请公布号 DE2560425(C2) 申请公布日期 1987.02.19
申请号 DE19752560425 申请日期 1975.11.24
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAWAGOE, HIROTO, KODAIRA, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 H01L21/22;G11C17/00;G11C17/12;H01L21/8234;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/088;H01L27/112;H01L29/788;H01L29/792;H03K19/096;(IPC1-7):G11C17/06;H01L21/72 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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