发明名称 TESTING APPARATUS OF ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6237938(A) 申请公布日期 1987.02.18
申请号 JP19850177448 申请日期 1985.08.12
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YOSHIZAWA MASAHIRO;KIKUCHI AKIRA;WADA YASUSHI;FUJINAMI AKIHIRA;SHIMAZU NOBUO
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28;G01R31/302;G01R31/3183;H01J37/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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