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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6237933(A) 申请公布日期 1987.02.18
申请号 JP19850177942 申请日期 1985.08.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAYAMA ICHIRO;HOUCHIN RIYUUZOU;TANNO MASUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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