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发明名称 SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号 JPS6237925(A) 申请公布日期 1987.02.18
申请号 JP19850177896 申请日期 1985.08.12
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KATO YOSHINAO;KAMIJO EIJI
分类号 H01L21/683;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/324;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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