| 发明名称 |
WAFER TRANSPORTING APPARATUS IN HORIZONTAL DIRECTION IN VACUUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6236249(A) |
申请公布日期 |
1987.02.17 |
| 申请号 |
JP19850175769 |
申请日期 |
1985.08.12 |
| 申请人 |
ULVAC CORP |
发明人 |
KOMATSU KIYOSHI;TSUKAGOSHI OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/677;B25J15/08;B65G1/00;B65G1/04;B65G1/07;B65G47/92;B65G49/07;B65H5/14;H01L21/66;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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