发明名称
摘要
申请公布号 JPS6225877(U) 申请公布日期 1987.02.17
申请号 JP19860119795U 申请日期 1986.08.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R1/073;G01R31/26;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址