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发明名称
摘要
申请公布号
JPS627470(B2)
申请公布日期
1987.02.17
申请号
JP19830048634
申请日期
1983.03.25
申请人
KOKUSAI DENKI KK
发明人
KANEKO SUMIO;OOTSUKI KENJI
分类号
B01J3/00;F27B17/00;F27D11/02;H01L21/22
主分类号
B01J3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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