发明名称
摘要
申请公布号 JPS627470(B2) 申请公布日期 1987.02.17
申请号 JP19830048634 申请日期 1983.03.25
申请人 KOKUSAI DENKI KK 发明人 KANEKO SUMIO;OOTSUKI KENJI
分类号 B01J3/00;F27B17/00;F27D11/02;H01L21/22 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
地址