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发明名称 OBSERVING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6235212(A) 申请公布日期 1987.02.16
申请号 JP19850174370 申请日期 1985.08.09
申请人 NIPPON KOGAKU KK <NIKON> 发明人 AKAGAWA KATSUYUKI
分类号 G02B21/24;G01B11/24;G02B21/26;H01L21/66 主分类号 G02B21/24
代理机构 代理人
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