发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6235615(A) 申请公布日期 1987.02.16
申请号 JP19850176196 申请日期 1985.08.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAI KENYA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址
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