| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS TO CALIBRATE INTENSITY AND DETERMINE FRINGE ORDER FOR INTERFEROMETRIC MEASUREMENT OF SMALL SPACINGS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0689665(A1) |
申请公布日期 |
1996.01.03 |
| 申请号 |
EP19950906029 |
申请日期 |
1994.12.14 |
| 申请人 |
PHASE METRICS |
发明人 |
LACEY, CHRISTOPHER;ROSS, EDWARD, W. |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/14;G11B5/60;G11B21/12;G11B21/21;G11B33/10;(IPC1-7):G01C9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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