发明名称 DEFECT INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0854352(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940207954 申请日期 1994.08.09
申请人 MITSUBISHI RAYON CO LTD 发明人 SAITO NORIAKI;FUSE MASAKI
分类号 G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/894;G01N21/898;G01N21/93;G01N21/94;G06T1/00;G06T5/00;G06T7/00;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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