发明名称 PRODUCTION OF AMORPHOUS FILM
摘要
申请公布号 JPS6233771(A) 申请公布日期 1987.02.13
申请号 JP19850171588 申请日期 1985.08.02
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HAKU HISAO;NAKAJIMA YUKIO;WATANABE KANEO;MATSUOKA TSUGUFUMI
分类号 C23C16/30;C23C16/48 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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