发明名称 HALBLEITERELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG UND GEGENSTAND, IN DEM DIESES ELEMENT VERWENDET WIRD
摘要
申请公布号 DE3610401(A1) 申请公布日期 1987.02.12
申请号 DE19863610401 申请日期 1986.03.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES,LTD. 发明人 HITOTSUYANAGI,HAJIME;FUJITA,NOBUHIKO;ITOZAKA,HIDEO;NAKAGAMA,SYOJI;TANAKA,SABURO,DIPL.-ING.;FUKUSHIMA,KAZUHIKO,DIPL.-ING.
分类号 G03G5/082;H01L21/205;H01L31/0376;H01L31/20;(IPC1-7):H01L31/06;C23C14/06;C23C14/22;C01B35/00;C01B33/06;H01L31/18;H01L21/268;H01L27/14;C01B33/04 主分类号 G03G5/082
代理机构 代理人
主权项
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