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发明名称 PROJECTION EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6232613(A) 申请公布日期 1987.02.12
申请号 JP19850171157 申请日期 1985.08.05
申请人 CANON INC 发明人 YABU SHUICHI
分类号 H01L21/30;G03F7/20;G03F7/207;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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