| 发明名称 |
FREMGANGSMAATE OG APPARAT FOR GJENNOMFOERING AV EN ATOMSJIKTSEPITAKSIVEKST. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NO155106(C) |
申请公布日期 |
1987.02.11 |
| 申请号 |
NO19800000555 |
申请日期 |
1980.02.27 |
| 申请人 |
LOHJA AB, OY |
发明人 |
SUNTOLA, TUOMO;PAKKALA, ARTO;LINDFORS, SVEN |
| 分类号 |
C30B23/02;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C30B23/08;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/02;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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