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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6220386(U)
申请公布日期
1987.02.06
申请号
JP19850110561U
申请日期
1985.07.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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