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发明名称 SILICON WAFER GAS CHROMATOGRAPH
摘要
申请公布号 JPS6228663(A) 申请公布日期 1987.02.06
申请号 JP19850169199 申请日期 1985.07.31
申请人 SORD COMPUT CORP 发明人 INOUE KANJI
分类号 G01N30/54;B01D15/08 主分类号 G01N30/54
代理机构 代理人
主权项
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