发明名称 DEVICE FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL BY USING DOUBLE CRUCIBLE
摘要
申请公布号 JPS6227398(A) 申请公布日期 1987.02.05
申请号 JP19850167109 申请日期 1985.07.29
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TADA KOJI;NAKAI RIYUUSUKE
分类号 C30B15/12;C30B27/02;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B15/12
代理机构 代理人
主权项
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