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发明名称
FILTER DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6227018(A)
申请公布日期
1987.02.05
申请号
JP19850165941
申请日期
1985.07.29
申请人
HOYA CORP
发明人
HIGUCHI TAKAO
分类号
H01L21/306;B01D37/04;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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