| 发明名称 |
ASSEMBLY TYPE BARREL-SHAPED SUSCEPTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6227399(A) |
申请公布日期 |
1987.02.05 |
| 申请号 |
JP19850165577 |
申请日期 |
1985.07.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
SOTODANI EIICHI;OKAWA MASAYUKI;ITO KAZUO;SASAKI YASUSANE |
| 分类号 |
C30B25/12;C30B25/00;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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