| 发明名称 |
DEVICE FOR MANUFACTURING MAGNETIC THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10163058(A) |
申请公布日期 |
1998.06.19 |
| 申请号 |
JP19960334756 |
申请日期 |
1996.11.29 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
SHIMOKAWA HIDETOSHI;TAKAGI SHINJI |
| 分类号 |
C23C14/00;H01F41/18;H01F41/22;(IPC1-7):H01F41/18 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
