| 发明名称 |
METHOD OF DETECTING THE POSITION OF A CHROME-ON-GLASS RETICLE IN AN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2178171(A) |
申请公布日期 |
1987.02.04 |
| 申请号 |
GB19860021083 |
申请日期 |
1986.09.01 |
| 申请人 |
* CONTROL DATA CORPORATION |
发明人 |
JOHN RICHARD * SHAMBROOM;ALAN PAUL * SLISKI |
| 分类号 |
G01B3/00;G01B7/06;G01B7/14;G01B11/14;G01B21/16;G03F9/00;G03F9/02;H01J37/304;(IPC1-7):G01B7/14;G05D3/10 |
主分类号 |
G01B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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