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发明名称
摘要
申请公布号 JP2795981(B2) 申请公布日期 1998.09.10
申请号 JP19900279353 申请日期 1990.10.19
申请人 USHIO DENKI KK 发明人 TANAKA KAZUYA
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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