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发明名称 MODULAR PROCESSING APPARATUS AND MODULES FOR USE THEREWITH
摘要
申请公布号 EP0162703(A3) 申请公布日期 1987.02.04
申请号 EP19850303586 申请日期 1985.05.21
申请人 MACHINE TECHNOLOGY INC. 发明人 HILLMAN, GARY;RUBIN, RICHARD HOWARD;HEIM, RICHARD COURTLAND;DEVICO, MICHAEL
分类号 H01L21/677;B23Q39/02;B25J11/00;B25J13/00;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):H05K13/00;H05K13/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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