发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6226841(A) 申请公布日期 1987.02.04
申请号 JP19850165890 申请日期 1985.07.29
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORI TADASHI;ONO TAKASHI
分类号 H01L21/768;H01L21/31 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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