| 发明名称 |
PULSED PLASMA APPARATUS AND PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2178062(A) |
申请公布日期 |
1987.02.04 |
| 申请号 |
GB19860015825 |
申请日期 |
1986.06.27 |
| 申请人 |
* STC PLC |
发明人 |
RUDOLF AUGUST HERBERT * HEINECKE;SURESHCHANDRA MISHRILAL * OJHA;IAN PAUL * LLEWELLYN |
| 分类号 |
C23C14/40;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/515;C23F4/00;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C14/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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