发明名称 OPTICAL ELEMENT FOR BEAM SEPARATION IN SYSTEM FOR MEASURING SHAPE OF WAVE FRONT
摘要
申请公布号 JPS6225203(A) 申请公布日期 1987.02.03
申请号 JP19850164854 申请日期 1985.07.25
申请人 RICOH CO LTD 发明人 HINO MAKOTO
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01M11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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