| 发明名称 |
SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER WITH FAST DIFFUSING VELOCITY OF LIFE TIME KILLER ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6225427(A) |
申请公布日期 |
1987.02.03 |
| 申请号 |
JP19850164864 |
申请日期 |
1985.07.25 |
| 申请人 |
MITSUBISHI METAL CORP |
发明人 |
SUGA HISAAKI;KIMURA TAKESHI;SHIMANUKI YASUSHI |
| 分类号 |
H01L29/167;C30B29/06;H01L21/322;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L29/167 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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