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发明名称 Method for implanting the sidewalls of isolation trenches
摘要
申请公布号 USH204(H) 申请公布日期 1987.02.03
申请号 US19840676250 申请日期 1984.11.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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