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发明名称
INSPECTOR
摘要
申请公布号
JPS6224160(A)
申请公布日期
1987.02.02
申请号
JP19850161962
申请日期
1985.07.24
申请人
HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;HITACHI LTD
发明人
NOGUCHI MASAMI;KAGEYAMA JOICHIRO
分类号
H05K13/08;G01R31/02
主分类号
H05K13/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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