发明名称 EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS6224617(A) 申请公布日期 1987.02.02
申请号 JP19850163312 申请日期 1985.07.24
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MORITA HISASHI;NISHIGUCHI KATSUNORI;NAKANO HIROYUKI
分类号 H01L21/74;H01L21/205 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
地址