发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6223172(A) 申请公布日期 1987.01.31
申请号 JP19850161865 申请日期 1985.07.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKUYAMA KOSUKE;UCHIDA KEN;KOMORI KAZUHIRO
分类号 H01L21/8247;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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