发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6223135(A) 申请公布日期 1987.01.31
申请号 JP19850161945 申请日期 1985.07.24
申请人 HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD;HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI HIDEKAZU
分类号 H01L21/3205;H01L23/28;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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