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发明名称
APPARATUS FOR METERINGLY ADMITTING GASEOUS SUBSTANCES INTO A VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号
PL139313(B2)
申请公布日期
1987.01.31
申请号
PL19840251395
申请日期
1984.12.27
申请人
发明人
分类号
F04B49/06;G01F;G05D;G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06
主分类号
F04B49/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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