| 发明名称 |
FORMATION DEVICE FOR DEPOSITED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6222420(A) |
申请公布日期 |
1987.01.30 |
| 申请号 |
JP19850161132 |
申请日期 |
1985.07.23 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKASU KATSUJI;TSUDA HISANORI;SANO MASAFUMI;HIRAI YUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/263;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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