| 发明名称 |
GROWTH OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6221787(A) |
申请公布日期 |
1987.01.30 |
| 申请号 |
JP19850159933 |
申请日期 |
1985.07.19 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
WADA MORIO;SUZUKI JUNICHI;YAMAZAKI TSUTOMU |
| 分类号 |
C30B11/04;C30B11/02;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B11/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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