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经营范围
发明名称
WAFER TO WHICH IC IS FORMED
摘要
申请公布号
JPS6222448(A)
申请公布日期
1987.01.30
申请号
JP19850161432
申请日期
1985.07.22
申请人
NIPPON KOGAKU KK <NIKON>
发明人
AKAGAWA KEIICHI;SATO ATSUSHI;KOMAI ATSUSHI
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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