发明名称 WAFER TO WHICH IC IS FORMED
摘要
申请公布号 JPS6222448(A) 申请公布日期 1987.01.30
申请号 JP19850161432 申请日期 1985.07.22
申请人 NIPPON KOGAKU KK <NIKON> 发明人 AKAGAWA KEIICHI;SATO ATSUSHI;KOMAI ATSUSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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